报告题目： 传感器与微系统技术

报 告 人： 王军波 副研究员，中科院电子学研究所

时  　 间： 2010年8月13日下午4：30

地  　 点： 科大西区电子工程与信息科学系第一会议室电三楼314

主办单位： 电子工程与信息科学系

报告简介：

作为新兴产业物联网技术的信息源头，传感器的研究和发展受到了越来越多的重视。“没有传感器技术就没有现代科学技术”的观点已为全世界所公认。本讲座简要概括传感器与微系统技术的发展历史、研究前沿和未来趋势，并着重介绍近年来中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地在传感器与微系统技术领域的研发概况。

主讲人简介：

王军波，博士，副研究员。2002年毕业于清华大学，同年到中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室工作至今，2004年任副研究员，2008年起任实验室副主任。国家自然科学基金同行评议人，IEEE 会员，中国仪器仪表学会高级会员。《Sensors & Actuators, A》、《Biomedical Microdevices》、《电子学报》、《清华大学学报》等期刊审稿人。2008年入选北京市科技新星。

受英国皇家学会支持，2006年赴英国卢瑟福国家实验室微结构中心和牛津大学工程系开展合作研究。2009年在院高级访问学者资助下赴加州大学Berkeley分校访问。

先后从事表面等离子谐振（SPR）生化分析系统、电化学传感器、、微流控芯片、硅微惯性传感器、MEMS封装技术研究，研制出系列SPR生化分析系统、便携式电化学分析仪、用于组织工程的微流控检测芯片、三轴硅微加速度传感器、三轴微机械陀螺仪等微纳传感器及检测系统。先后承担国家自然科学基金、863计划、院仪器研制、北京市自然科学基金等10余项科研项目，发表论文70余篇，被SCI/EI/ISTP收录40余篇，申请国家专利13项，7项获授权。

目前的研究兴趣主要集中在：硅微惯性传感器设计及制作；谐振式微机械传感器的设计、加工及微弱信号检测；MEMS圆片级真空封装技术；新型微纳传感器的设计和制作等。